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氧化钒/多孔硅/硅结构的微观形貌、纳米力学及温敏特性
采用电化学腐蚀法在硅基片表面形成多孔硅,利用直流对靶反应磁控溅射方法在不同电流密度条件下制备的多孔硅样品表面上溅射沉积了V......
期刊
氧化钒
多孔硅
微观结构
纳米力学
温敏特性
Vanadium oxide
Porous silicon
Microstructure
Nano-mech
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